光刻機巨頭阿斯麥工廠火災后啟動恢復
荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)位于德國柏林的一家工廠發生火災，阿斯麥正啟動一項恢復計劃。
這場大火于1月3日在德國柏林的一個生產工廠現場發生，并在夜間被撲滅。暫無受傷報告，該事件引起全球關注，根據該公司更新的訊息，初步評估柏林廠受到的影響有限，但極紫外光（EUV）微影設備的部分零件生產區域仍在恢復當中。
發生火災的工廠為ASML的光刻產品生產包括晶圓臺、夾具、光罩卡盤和反射鏡塊在內的組件。ASML 7日發布新聞稿指出，過去幾日進行的初步評估顯示，柏林制造基地一生產線建筑有部分遭熱融，冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟建筑。這些受影響的建筑已順利恢復一些生產作業，柏林廠區的其他建筑則未受影響，一直都能正常運作。
ASML當時持續評估受損情況，目前的檢視結果如下：
- 計量（Metrology）和檢測（Inspection）產出計劃未受影響，因為使用的零組件并非來自柏林廠。
- 深紫外光曝光設備（DUV）零件生產已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應能設法解決問題，不會影響DUV的產出及營收計劃。
- 關于極紫外光（EUV）微影設備，火災影響了晶圓夾（wafer clamp）一部分生產區域，這是EUV系統的一項模組。ASML還在設法讓這個生產區恢復正常，也在評估要如何調整產出計劃、現場服務（field service），讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。
火災導致生產中斷數天，但ASML表示生產已經恢復。
“現場的其他建筑物沒有受到影響，并且完全可以投入使用，”ASML評論道。 目前，該公司表示，主要中斷與ASML的深紫外 (DUV)光刻系統有關，該系統用于將微芯片的微小特征打印到納米級。ASML希望“以一種不會影響我們 DUV 的產量和收入計劃的方式”來“修復”這種生產中斷。
然而，火災也影響了晶圓夾具的生產。晶圓夾具是ASML極紫外 (EUV)機器的一個組件，用于打印基礎層和構建芯片架構。 晶圓夾具變得更加復雜，但 ASML 表示已經制定了恢復計劃——該公司將努力將火災對 EUV 客戶在輸出供應和現場的影響降至最低。
進一步的損失評估更新將在本月晚些時候ASML的第四季度和2021財年財務業績時發布，ASML的股價因此下跌不少。
作為半導體公司的供應商，這遠非2022年的一個良好開端，尤其是考慮到許多分析師認為明年將出現嚴重的芯片短缺。根據外媒報導，分析人士直指，若ASML的EUV設備出貨量因為這場火災縮減10%，則可能讓全球微影設備供應量暫時減少8.4%，因為ASML擁有84%的市占率。
GlobalData表明，新的COVID-19變體的出現將影響包括汽車、無線和制藥行業在內的行業的芯片供應，而德勤估計，到2022年底，這些關鍵技術組件正常的交貨時間至少需要10到20周。
